为了研究数字灰度光刻成像系统中栅格效应对像质的影响．在成像系统优化参量已有的研究基础上，综合考虑工作效率、光刻准确度、加工制造成本等因素，设计了一种能够有效消除数字灰度光刻成像栅格效应的光刻物镜．此光刻物镜技术指标为，数值孔径NA-0．3，工作波长A-442nm，倍率10×，分辨率R≤1．2pm，焦深4μm，且镜片数量少，光学加工、光学校装公差要求低．结果表明，该镜头完全满足数字灰度光刻高质量成像的需要．