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3D-MEMS加速度计性能试验研究

作者: 邢丽 李荣冰 刘建业 杭义军 来源:仪表技术与传感器 日期: 2023-06-29 人气:30
3D-MEMS加速度计性能试验研究
研究了一种新型三维MEMS加速度计的性能特点和工作原理。针对加速度计的输出接口特点,设计了基于数字信号处理(DSP)芯片的数据采集系统,实现对加速度计信号的高速实时采集。利用多通道缓存串行口MCBSP实现SPI总线方式的数据采集,并采用2个DMA控制器实现了数据的实时传输和存储。基于设计的DSP数据采集系统,对采集的数据进行了处理,分析了加速度计在一定温度下的偏值稳定性和输出重复性,评估了加速度计的性能。
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