在研究纳米级超精密机床的检测过程中,针对机床的加工要求,提出了纳米级大尺度超精密线位移误差的检测采用宏微线位移测量方法,并应用于超精密机床的检测.检测结果表明,该方法可以利用现有精密测量仪器满足检测超精密机床的要求.

根据常见测量对象的几何特征及光切法三维轮廓测量特点,设计了两种测量系统结构方案,并重点介绍了四轴卧式系统四种扫描测量策略及其数据合成方法,最后给出了实物测量结果.