磁致伸缩型微位移致动器通常采用多晶或孪晶结构材料作为驱动单元,由于晶界和孪晶界对畴壁的移动具有阻碍作用, 其低场下的位移输出较小,调控精度受到较大影响.采用Tb-Dy-Fe单晶材料可以有效解决这一问题,本文介绍了采用这一单晶材料设计的新型高精度微位移致动器以及致动器的结构和数控电源.

采用高性能Tb0.3Dy0.7Fe2单晶材料，通过优化微位移致动器的机械、磁路参数，研制出了具有非水冷结构的新型微型位移致动器。致动器的最大线性工作区间为0.5-35.5μm，工作电压为2-24V，饱和驱动量可达39.5μm。

用提拉法磁悬浮冷坩埚技术生长的RFe2(Tb03Dy0.7Fe195)单晶材料,其室温下的饱和磁致伸缩系数λs可达2 ×10-3以上,优于同成分的定向结晶材料.采用自制的高性能RFe2单晶材料,通过优化微位移致动器的机械、磁路参数,研制出具有非水冷结构的新型微位移致动器.