为了分析纳米级两维微位移工作台引入的测量误差，介绍了其机械结构及工作原理，进行了定位准确度实验和运动方向的直线度（偏摆）实验，实验结果表明，工作台的定位准确度较高，运动方向的直线度在工作台工作范围内无需修正，即可满足高精度测量的需要。