为了减少生化传感器中样品的消耗,基于行波原理,本文设计了一种新型的压电式微流泵。首先,理论证明了行波的产生机理,并用流体仿真软件Fluent进行了验证;其次,设计并制作了锯齿沟道和直沟道两种结构的微流泵,在压电双晶片阵列的驱动下,测量了这两种微流泵在不同频率和电压下的特性。结果表明锯齿形沟道结构的压电式行波微流泵性能更优良,在幅度为26 V,频率为1 437 Hz,占空比为1的方波驱动下,它的最大流速和最大背压分别是33.36μL/min和1.13 kPa,能够满足生化检测中动力输送要求。