配扫描电子显微镜的波长色散X射线谱仪(简称WDX或WDS),近来在微观分析领域吸引较多的关注.这其中很大原因是新一代高精度自动聚焦平行光X射线波谱仪的推出.这种波谱仪具有独特紧凑型设计,尺寸小;去掉了传统的罗兰圆光学系统,结构较简单;与扫描电镜的接口和能谱仪的接口一样大,可以安装在绝大多数的扫描电镜上.