刮板式微致动器,是一种可以实现大位移、步进式MEMS纳米微致动器。结合刮板式微致动器的表面硅加工工艺,考虑支撑梁的反作用力建立了新的理论分析模型,分析了微致动器的临界电压、单步位移以及最大输出位移等几个重要性能参数,将理论模型的计算结果与已有的实验数据以及理论模型作了对比。结果表明,本文理论分析模型的的理论值与实验结果有较好的一致性。

风冷气缸套散热片在加工螺栓孔的过程中断裂。通过宏观检验、化学成分分析和金相检验等分析了螺栓孔断裂的原因。结果表明:螺栓孔机加工区有大量过冷石墨和游离渗碳体,脆性很大,从而导致其机加工时断裂。