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激光干涉仪测长精度校准方法的研究
作者:
廖澄清
朱小平
王蔚晨
杜华
来源:
现代测量与实验室管理
日期: 2024-06-04
人气:19
本文从激光干涉仪的工作原理出发,对激光干涉仪测长中存在的各种误差源构成进行分析,从而提出了测长精度校准的不同方法特点,通过理论分析和试验总结出测长精度校准的科学合理的方法.
关键词:
激光干涉仪
精度
校准方法
试验总结
误差源
理论分析
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