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激光干涉仪测长精度校准方法的研究

作者: 廖澄清 朱小平 王蔚晨 杜华 来源:现代测量与实验室管理 日期: 2024-06-04 人气:19
激光干涉仪测长精度校准方法的研究
本文从激光干涉仪的工作原理出发,对激光干涉仪测长中存在的各种误差源构成进行分析,从而提出了测长精度校准的不同方法特点,通过理论分析和试验总结出测长精度校准的科学合理的方法.
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