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> 杨才华
一种双密封结构稳定漏率判定方法
作者:
龙伟
赵肆方
杨才华
王隆基
李文静
来源:
真空与低温
日期: 2021-08-19
人气:192
使用氦质谱法检测双密封结构产品漏率时,示漏气体漏率示值稳定时间较长,检漏效率较低。针对此问题,建立了双密封结构泄漏模型,对检漏曲线进行了分析。在此基础上提出了一种基于指数函数拟合的稳定漏率判定方法,对10-6~10-8 Pa·m3/s范围内3条不同量级的漏率曲线进行了拟合分析。结果表明,该方法能有效解决稳定漏率判定难题,提高检漏效率。
关键词:
氦质谱检漏
双密封结构
稳定漏率
检漏效率
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