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一种双密封结构稳定漏率判定方法

作者: 龙伟 赵肆方 杨才华 王隆基 李文静 来源:真空与低温 日期: 2021-08-19 人气:192
一种双密封结构稳定漏率判定方法
使用氦质谱法检测双密封结构产品漏率时,示漏气体漏率示值稳定时间较长,检漏效率较低。针对此问题,建立了双密封结构泄漏模型,对检漏曲线进行了分析。在此基础上提出了一种基于指数函数拟合的稳定漏率判定方法,对10-6~10-8 Pa·m3/s范围内3条不同量级的漏率曲线进行了拟合分析。结果表明,该方法能有效解决稳定漏率判定难题,提高检漏效率。
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