高精度数控机床可靠性分析能够快速解决数控机床故障问题。为提高高精度数控机床可靠性分析准确性,设计一个基于RBF神经网络的高精度数控机床可靠性分析方法。应用多体系统模型,对数控机床建模,提取机床内部特征,对故障数据分类处理,完成故障数据分布拟合。在此基础上,建立数控机床可靠性评价指标,训练RBF神经网络,实现高精度数控机床可靠性分析。实验结果表明:所提出的高精度数控机床可靠性分析方法的定位误差较小,能够准确统计出数控机床的故障模式频次,确保了可靠性分析效果,提高了数控机床可靠性分析准确性。