在数控加工中,加工误差直接关系到产品的质量,对其建模的研究显得十分重要。动态误差特别是热误差的精密建模显得困难重重,却一直是相关研究的重点。文章讲述工作中的微V槽超精密机床会经历升温、热平衡和降温3个阶段,并探究维系热平衡所需的条件;发现微V槽超精密机床在空间同一位置处产生的加工误差的主要成分是热误差,基于热平衡维系条件该误差的变化过程是一个欠阻尼二阶系统的阶跃响应。因此,基于热平衡维系条件,对加工误差的精密建模进行研究会显得事半功倍。