由于压电陶瓷驱动器（PZTA）具有体积小、位移输出精度高等优点，因而它在超精密定位和微机电系统（MEMS）中得到了广泛的应用，但其本身固有的非线性和迟滞等缺陷，降低了其位移输出精度。为了克服这些缺陷，采用开环二进制控制原理控制PZTA，不仅可以有效地克服其非线性和迟滞缺陷，使PZTA的位移输出精度达到±26．9nm，而且无需反馈控制回路和检测元件，使控制系统结构简单，降低了成本，便于集成到MEMS中。

针对微/纳机电系统(MEMS/NEMS)零部件加工制造难题,研究具有亚衍射极限空间分辨率的飞秒激光双光子聚合加工方法,搭建钛蓝宝石飞秒激光微纳加工系统,对液态聚合物材料进行飞秒激光双光子聚合加工工艺试验研究。结果表明随着激光功率的降低,单个固化点的尺寸减小,加工分辨率提高;扫描步距减小,所加工工件的表面粗糙度数值减小,但加工效率降低。基于CAD软件设计出微米墙和纳米线构成的三维微纳结构,利用飞秒激光双光子聚合加工得到该三维微纳结构实物,通过优化工艺参数加工出直径小于100nm的纳米线,从而证明飞秒激光双光子聚合加工方法为微/纳器件的制造提供了一种有效方法。