等离子抛光作为一种新的抛光工艺,是绿色制造超精密加工领域中一种新的发展趋势。文中在阐述等离子体抛光原理及加工装置的基础上,综述了等离子体抛光的应用范围,包括民用五金件、数码产品以及日常生活用品等对表面质量要求较高的金属零件的应用情况,并展望了未来在航空航天及军工领域高品质工业产品的等离子抛光的应用前景。