提出了一种液压油污染物多参数测量传感器,该传感器在平面型微流体电感传感器基础上增加了一个单层电感线圈,并将两个单层线圈正对排布在直微通道两侧,在电感参数检测的基础上将两个单层电感线圈等效为一对圆环形电容极板,引入了电容参数检测,从而实现了对液压油中铁磁性金属颗粒、非铁磁性金属颗粒、水滴和气泡4种污染物的检测。对该多参数传感器进行了设计,并结合仿真和实验对检测位置进行了优化,电容参数检测实验实现了液压油中180μm水滴和240μm气泡的区分检测;电感参数检测实验实现了液压油中80μm铁颗粒和150μm铜颗粒的区分检测。该研究对液压油多污染物的区分检测提供了一种新方法。

当液压系统发生异常磨损时液压油中金属磨粒的浓度会急剧增加因此液压油中金属磨粒的浓度检测也是在线监测常用的手段之一.利用光阻法设计并制作了微流控检测芯片搭建了相应的光学检测系统选取粒径为10和20 的铁粉分别配制了不同浓度梯度的油样并进行了大量的检测试验.结果表明：当金属磨粒的浓度增大时信号幅值可增大近6 倍而且信号幅值随着磨粒的粒径增大而增大;光阻法可用于液压油中金属磨粒浓度检测并且具有良好的检测效果.

液压系统在船上具有广泛应用当液压油污染物中出现粒径大于20 μ m 的颗粒时说明该系统发生了异常磨损可能导致故障的发生.利用光阻法设计并制作了微流控油液颗粒检测芯片搭建了简单有效的光学检测系统并经信号放大和数据采集实现了对微小颗粒的检测最后通过Java 编程实现了对粒径大于20 ＆m颗粒进行计数.对25 - 38 ＆m的铁颗粒进行快速检测的结果表明系统的检测性能良好证明方法是可行的.