针对工业机器人RV减速器行星架圆周孔孔径在线测量问题,研究基于差压式气动测量的孔径比较式测量方案;基于测量方案和模块化设计思想,设计双截面八喷嘴气路结构、运动机构和电气系统,并研制出孔径在线自动测量仪,实现测量过程的自动化和数据采集实时化。系统误差分析结果表明气动测头结构引入误差小于0.156μm,生产线环境温度引入误差小于0.39μm。在重复性测量条件下进行测量试验,试验结果表明孔径在线自动测量仪重复性标准差小于0.22μm,测量误差小于1.3μm,测量结果不确定度0.8μm,具有较高准确性和良好重复性。单个零件测量节拍小于30 s,测量效率高,满足生产线上的测量要求。