电子衍射技术是分析研究固体薄膜和表面层晶体结构的较为先进的方法，也是利用电子显微镜正确分析实验结果所不可缺少的基础知识和技术。因此，国家教委把电子衍射实验列为近代物理实验的20个基础题目之一。但是，由于该实验涉及高真空、高电压、薄膜、清洗和电子光学等技术，所以，要使实验获得成功，要求教师和学生掌握这些技术。下面就我们研制的DYY一3型电子衍射仪 [1] 所涉及的技术难点和实验教学中遇到的关键技术问题作一介绍，供参考。