采用液态镓作为离子源的FIB系统在材料科学研究领域可以起非常重要的作用。离子束聚焦于样品表面，在不同大小、束流及通入不同辅助气体的情况下，可分别实现图形刻蚀、绝缘和金属膜的沉淀，扫描离子成像等功能。该系统有三大用途：形貌观察，分辨率高达5nm；微刻蚀以及微沉淀。本文介绍了FIB技术的应用。