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> 清野彗
液中测量型原子力显微镜的研究
作者:
刘庆纲
叶声华
清野彗
冈彻
来源:
光电工程
日期: 2022-09-09
人气:2
简述了使用临界角角度传感器的探针驱动角度检出型AFM的测量原理及在液体中进行测量的原理,并对在空气中和液体中的测量结果进行了分析比较。
关键词:
原子力显微镜
角度传感器
探针
液中测量型
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