我公司动力部制氧车间6000m 3 /h制氧机的氢气纯度分析仪器，只有一台在线的氢中微量氧分析仪。而氢气纯度的分析，不只分析氢中微量氧含量，还要测量氢气中的其它杂质含量，然后以100%减去杂质量来得到其纯度。氢气中主要含氢、氧、氮等杂质，纯氢(99.99%)及高纯氢(99.999%以上)的国家标准，见表1.