按照ＩＳＯ／ＤＩＳ１１２５４光学表面激光损伤阈值测量标准和等价国际的要求，建立了薄膜的１μｍ ＹＡＧ脉冲激光损伤阈值定量测试装置，对脉冲能量、脉冲持时间、光束分布及相应的不确定度均进行了测试。