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> 汤天瑾
计量光栅制造综述
作者:
汤天瑾
曹向群
林斌
来源:
光学仪器
日期: 2023-12-06
人气:4
计量光栅作为一种重要的传感器件,广泛应用于工业生产的诸多领域.系统介绍了计量光栅的种类,重点介绍了国内外光栅制造的主要方法、光栅复制工艺以及衡量光栅质量的基本指标和检测方法.
关键词:
计量光栅
光栅制造
光栅检测
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