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计量光栅制造综述

作者: 汤天瑾 曹向群 林斌 来源:光学仪器 日期: 2023-12-06 人气:4
计量光栅作为一种重要的传感器件,广泛应用于工业生产的诸多领域.系统介绍了计量光栅的种类,重点介绍了国内外光栅制造的主要方法、光栅复制工艺以及衡量光栅质量的基本指标和检测方法.
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