准分子激光广泛应用于工业设备中,要求其输出激光光束强度分布尽量均匀。为了确定其光束强度分布是否均匀,提出了一种测量准分子激光光场均匀性的方法。基于VC＋＋6.0、ARM微处理器S3C2440A和模数转换器AD7677设计了测量系统的软硬件。利用S3C2440A的USB接口,实现了计算机对测量系统的控制,测量结果的实时显示和保存。