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> 孙业业
激光干涉测量中的误差分析与补偿
作者:
刘君
穆海华
孙业业
周云飞
来源:
机床与液压
日期: 2024-01-30
人气:8
介绍了双频激光干涉仪的测量原理,从安装和测量等方面深入分析了激光干涉测量所固有的系统误差、阿帆误差及余弦误差、环境误差及延时误差,讨论了各种误差对测量结果的影响,并给出了相应的误差补偿方法。
关键词:
激光干涉测量
误差分析
误差补偿
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