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激光干涉测量中的误差分析与补偿

作者: 刘君 穆海华 孙业业 周云飞 来源:机床与液压 日期: 2024-01-30 人气:8
激光干涉测量中的误差分析与补偿
介绍了双频激光干涉仪的测量原理,从安装和测量等方面深入分析了激光干涉测量所固有的系统误差、阿帆误差及余弦误差、环境误差及延时误差,讨论了各种误差对测量结果的影响,并给出了相应的误差补偿方法。
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