三坐标测量机广泛用于机械零件的检测,它的精度直接影响着被测工件的精度.文章利用千分表和四等量块对光电非接触三坐标测量机工作台面上的20个点进行了检定,实验结果显示工作台面与XOY移动平面的平行度超出了误差范围.作者采用误差补偿的方法,先设定补偿平面上的一点,再求出通过该点分别与XOZ和YOZ平面相平行的直线与XOY平面的夹角,根据设定点及两个夹角确定补偿平面,最后求出补偿后的工作台面与XOY移动平面的平行度在误差范围之内,从而使工作台满足设计要求.因而证明了误差补偿是一种有效的提高机器精度的方法.