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> 郑海顺
一种应用于真空镀膜环境的快门式观察窗
作者:
郑海顺
李亮生
姜勋祥
来源:
中国高新技术企业
日期: 2024-07-23
人气:4
文章介绍了一种新型的观察窗,它利用旋动转轴带动调节环转动,同时通过一些运动副带动快门片张开闭合的装置,主要应用于真空镀膜设备,防止某些金属元素或腐蚀性物质直接镀到观察窗玻璃片上的一种机构。
关键词:
真空容器
动密封
观察窗
真空镀膜
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