介绍了新型共平面精密二维平台的机械设计与精密测量系统的研发.机械结构引入共平面理论,使得X方向和Y方向的导轨面在同一高度平面,减小了Z向阿贝误差和累积误差,兼顾对称设计,减小力变形、热变形;研制出高精度线性衍射光栅干涉仪,以光栅衍射原理和偏振光学为理论基础,配合信号细分原理,使得该系统可以达到纳米级分辨率.

文章研究提出了一种新型的适用于微三维测量的拱形桥架结构设计，此结构县有高度的对称性，对比于传统的矩形桥架结构，承载Z轴测量系统的挢架中间位置具有更好的稳定性、力变形、热变形非常小；动态谐响应下，位移幅值变化小，在测量过程中具有高可靠性。文中利用理论计算以及有限元分析方法，对新型拱形桥架结构和传统矩形框桥架结构进行对比，体现了该创新设计的优越性。