以共面波导作为测试夹具,用射频矢量网络分析仪对小尺寸、小容量的贴片式电容进行扫频测量.结合微波网络理论进行分析,并应用最小二乘法拟合计算后,得出的贴片式电容的测量值与标称值吻合较好,说明该方法可行.