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迈克耳孙干涉仪在精密尺寸测量中的应用
作者:
陈明通
翟秀云
来源:
测控技术
日期: 2023-08-10
人气:18
应用物理学中的迈克耳孙干涉仪知识,介绍其在精密尺寸测量中的运用。即将被测物体尺寸与标准量块在迈克耳孙干涉仪上进行比较,然后通过测量尾数差,来确定两者的差值,从而获得被测物体尺寸的准确值。
关键词:
干涉
量块
被测尺寸
尾数差
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