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简化光路的激光干涉仪及其应用
作者:
隋新
解中宁
来源:
仪表技术与传感器
日期: 2023-08-03
人气:15
文中论述了简化光路激光干涉仪的原理,并对该仪器的测试精度和在机械工程中的应用进行了详尽分析。
关键词:
激光干涉仪
简化光路
测试精度
工作原理
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