薄膜反射镜是实现大口径、低面密度空间光学系统的最新方向之一，材料采用柔性薄膜，具有重量超轻、体积小的特点。由于薄膜反射镜的挠度特性，利用传统的方法来获得面形的变化很困难。介绍薄膜反射镜的成形原理，建立符合实际情况的有限元模型，通过施加一定的边界条件，对薄膜反射镜进行非线性分析，得到一系列的挠度值，并和理论值进行比较分析，最大误差为0．07％。所得到的结论对于进一步研究反射镜成形和面形控制，以及薄膜厚度的选择具有一定的指导意义。