针对X射线荧光分析装置对供电高压电源在效率、体积和智能控制等方面的要求，研制了一种以单片机和脉宽调制（PMW）技术为基础的高压电源。以单片机89C52为控制主体，采用单端式推动、PID算法稳压控制，经变压器和倍压整流后输出高压。电源输出在0-50kV连续可调，且体积小、效率高、长期运行性能稳定。