一等环规测量装置采用He-Ne稳频激光波长作为测量基准,应用干涉条纹进行绝对测量,配以高精度的数字细分电路,使仪器分辨力达到5nm;静态光电显微镜瞄准不确定度为30nm;精密定位技术使其驱动步距达到5nm.

板材表面的质量决定了板材的使用性能、寿命、工作可靠性等一系列重要参数，因而在工程上，对于影响板材表面质量的因素以及针对板材表面质量的检测方式也越来越受重视。文中分别介绍和分析了板材常见的几种缺陷形式、板材表面质量对其使用性能的影响，并以高精度钢板为例介绍表面缺陷的传统无损检测技术、激光扫描和机器视觉技术；最后，通过各种检测方式的结果对比得出结论。