介绍了一种基于单片机的静电探针测量系统的实现方法，其原理是采用D／A转换器MAX531及A／D转换器TLC1549实现了静电探针I-V特性曲线的自动测量。对系统的结构特点做了介绍，详细讨论了系统的硬件组成和软件设计，重点阐述了MAX531和TLC1549硬件设计以及与单片机的接口电路，给出了相关参考程序。结合抗干扰技术，提高了系统的可靠性，使得获取数据快速、准确。该系统在实际使用中已取得了良好的效果。