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> 孙戎
基于椭圆光斑的离轴微位移计量
作者:
梁宜勇
孙戎
杨国光
来源:
计量学报
日期: 2023-05-04
人气:21
提出一种基于离轴法并采用椭圆光斑的光学微位移计量手段.模拟分析给出了椭圆光斑在线性度、灵敏度和动态范围等方面对探测性能带来的影响.基于这一微位移计量原理,在激光直写设备上制作了具有实用价值的圆光栅,这也表明半导体激光器可以取代传统的氦氖激光器并无需光斑整形.
关键词:
计量学
椭圆光斑
离轴法
微位移
调焦
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