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> 赵光平
四极质谱计在高压力下的测量方法
作者:
卢耀文
张涤新
冯焱
郭美如
成永军
赵光平
赵澜
李莉
来源:
真空与低温
日期: 2024-01-25
人气:15
四极质谱计是一种分压力测量仪器,其线性上限一般为10^-3Pa。通过对影响四极质谱计测量上限的因素进行分析,得到高压力下的分压力计算方法,并通过实验验证了该方法的可行性,得出的结论对高压力下四极质谱计的应用具有一定的参考价值。
关键词:
四极质谱计
分压力
灵敏度
线性
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