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四极质谱计在高压力下的测量方法

作者: 卢耀文 张涤新 冯焱 郭美如 成永军 赵光平 赵澜 李莉 来源:真空与低温 日期: 2024-01-25 人气:15
四极质谱计在高压力下的测量方法
四极质谱计是一种分压力测量仪器,其线性上限一般为10^-3Pa。通过对影响四极质谱计测量上限的因素进行分析,得到高压力下的分压力计算方法,并通过实验验证了该方法的可行性,得出的结论对高压力下四极质谱计的应用具有一定的参考价值。
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