提出了基于棋盘光栅Ronchi检验法的微变表面形貌测量方法，可同时测量被测表面形貌两个正交方向的斜率，因而可通过一幅变形棋盘光栅图重构被测表面形貌。使用取微分极值的方法可简单有效地实现变形棋盘光栅图两个正交方向信息的分离和提取。根据所提出的测量方法和数据提取算法建立了微．变表面形貌测量系统并对静态和动态表面形貌进行了测量。结果表明，所建立系统的分辨率〈O．1μm，测量范N〉50μm，符合有关研究中对微变液面的测量需求。

本文剖析了LabVIEW数据流语言的特点，提供了其若干有效控制方法，指出LabVIEW本身即可解决数据流控制上的变量冲突、响应时序控制、初始状态自适应调整等问题并保证其通用性，而不必求助于其它代码语言（如C语言），这样，既减轻了程序的复杂性，提高了效率，还丰富了LabVIEW的应用。文中以单选功能按钮设计实例详述了变量冲突、响应时序控制、初始状态自适应调整等问题的具体解决方案，在某型装备测试系统的实际运行中验证了该方法可行有效。