多学科目标兼容优化算法及在MEMS中应用
针对复杂系统的优化设计问题,提出了面向非层级复杂系统的多学科目标兼容优化设计方法,对其基本思路、原理进行阐述。通过在系统级中建立兼容约束和在子系统中构造兼容目标,使各子系统在独立优化设计的同时满足各系统之间的耦合关系,并使系统得到总体的最优解。并将此算法应用于梳齿式微加速度计的设计中,验证了此方法的可行性。
微加速度计粘附问题的研究及应用
粘附是影响微机电系统(MEMS)可靠性的重要因素之一。针对MEMS的典型产品一微加速度计的粘附问题进行了研究,给出了2种典型的微加速度计的表征粘附特性的剥离数的表达式,并分析了将粘附条件应用于微加速度计的多学科设计优化之中,分析了其对系统结构设计产生的影响。
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