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压电驱动微进给工作台设计与性能研究

作者: 王立峰 李蓓智 杨建国 王浩林 来源:压电与声光 日期: 2023-06-10 人气:22
压电驱动微进给工作台设计与性能研究
根据杠杆原理,使用结构紧凑的柔性导向支承机构,将压电驱动元件的伸长量传递到精密机床的进给系统上,进行精密进给。调节输入输出比可改变输出量大小及系统刚度。简述设计过程,提出了铰链的解析模型和有限元模型。测试结果表明柔性导向支承机构的静态刚度为5.5N/μm,自振频率为439Hz;微进给工作台行程为25μm,静态刚度约为200N/μm。
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