传统的以PC机为控制核心的AFM（atomic force microscope）来越无法满足快速成像的要求，具有先进控制系统的高速AFM正成为国内外的一个研究热点。本文介绍了一种以DSP（digital signal processor）为控制核心的AFM系统。在该系统中，自动进针，退针、扫描电压的产生、A／D采样、D／A输出以及数字闭环反馈控制等任务均在DSP控制下完成；在分辨率为．512×512时，可以获得行频55Hz的扫描速度。实验表明，即便在这样高速扫描的情况下，该系统仍具有良好的成像性能。

本文以德州仪器公司的TMS20C6713 DSP为基础,介绍了一种新型数字式SPM系统的硬件解决方案.文章首先指出原先的SPM系统的一些缺点,进而介绍数字信号处理器TMS320C6713芯片的一些优点,最后给出了基于该DSP芯片的主控板的主要结构以及整个数字式DSP-SPM系统的硬件方案.