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> 伊福廷
LIGA技术制造微流量计的研究
作者:
刘刚
伊福廷
来源:
微细加工技术
日期: 2022-07-25
人气:8
介绍了利用LIGA技术中的同步辐射光刻、微电铸技术和微装配技术制作微流量计的研究,讨论了微流量计的结构和工作原理。设计和研制了一种微流量计。
关键词:
微流量计
LIGA
微装配
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