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LIGA技术制造微流量计的研究

作者: 刘刚 伊福廷 来源:微细加工技术 日期: 2022-07-25 人气:8
LIGA技术制造微流量计的研究
介绍了利用LIGA技术中的同步辐射光刻、微电铸技术和微装配技术制作微流量计的研究,讨论了微流量计的结构和工作原理。设计和研制了一种微流量计。
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