以线性应变理论为基础，提出了考虑粘贴层影响的智能结构梁分布力模型。分别导出了单面粘贴驱动器和双面粘贴驱动器时的分布力模型的计算公式。通过数值模拟，分析了压电驱动器的驱动性能及其影响因素。

用水热合成法在金属基板上制备了压电双晶片,该法简单,成本低。为了更好地研究双晶片的特性,利用扫描电镜（SEM）和X-射线衍射（XRD）技术,对PZT薄膜的特性进行了较为详细的研究。发现PZT薄膜由平均尺寸约为5μm的PZT晶粒组成,其物相组成成分PbTiO3和PbZrO3的比值约为53/47,处在准同型相界附近。根据试验中测得数据,计算出了薄膜的平均密度;并建立了双晶片位移驱动模型,由该模型得到压电系数d31,并研究了双晶片的铁电性。

介绍了一种基于PZT压电薄膜的无阀压电微泵。该微泵利用自制的压电圆型薄膜片作为驱动部件、聚二甲基硅氧烷（PDMS）作为泵膜。本文在对微泵制备工艺研究的基础上，对其性能进行了数值和实验研究。建立了基于扩张管／收缩管理论的无阀微泵的有限元模型。利用MFX-ANSYS／CFX技术实现了对微泵的双向流固耦合分析。对微泵的锥形角、最小宽度、扩散管长度、泵腔高度进行数值计算，得到了优化参数。数值计算的结果与实际测量的数据进行了比较，验证了仿真的正确性。

介绍了一种基于PZT薄膜的无阀压电微泵。该微泵利用聚二甲基硅氧烷（PDMS）作为泵膜，自制的压电圆型薄膜片作为驱动部件，采用收缩管／扩张管结构，压电圆型致动片和PDMS泵膜的组合可产生较大的泵腔体积改变。在对微泵制备工艺研究的基础上，对其性能进行了实验研究，结果表明：电压和频率对流速均有显著影响。在7．5V、180Hz的正弦电压驱动下，该压电微泵的最大输出流速为2．05μL／min。该文制作的微泵具有流量稳定，驱动电压较低，性能稳定可靠和易控制等优点，可满足微流体系统的使用要求。

在给定的电铸液组分和工艺路线下,运用交流阻抗法研究了微电铸镍结构的电极过程动力学特性.建立了微电铸体系的等效电路,根据实验获得的交流阻抗图和电阻电抗频率响应,分析了搅拌、整平剂对微电铸体系交流阻抗的影响,计算了电极过程的交换电流密度.结果表明,加人十二烷基硫酸钠整平剂数量存在一个使交流阻抗最小的最佳值,大小为3 g/L,在有搅拌、加入最佳量的整平剂时,体系电极过程的交换电流密度为0.171 A/dm2.在微电铸过程中有搅拌、加入适量整平剂使电铸液交流阻抗下降,阴极电流效率提高,可以改善微电铸镍结构的表面性能、致密度和高度均匀性.