传统的天然气流量计主要采用容积计量．容易受天然气压力和温度的影响．而且不能反映天然气的成分变化（质量变化）。另外．现有计量仪表不能很好地计量出较小的流量．对较大的流量又存在饱和等问题．严重影响了计量的准确性。本文介绍一种根据传热原理．基于MEMS技术的传感器系统。利用MEMS技术设计的传感器系统体积小、测量准确度高、误差小，可以精确测量管道内气体的质量流量。