一种光电经纬仪数字相机数据传输系统的设计
为了实现数字图像以光纤为通道实时传输,利用RocketIO实现数据的串行以及解串操作,建立了适合于经纬仪的数据传输系统。针对Xilinx的Virtex-ⅡPRO系列FPGA内嵌的RocketIO收发器模块,设计了用于经纬仪中数字相机的高速数据传输系统。结果显示,其单通道传输速率可达3.125Gb/s,数据延迟低于300ns,误码率低于10^-12,实现了数字图像高速、实时、远距离传输,满足了光电探测设备对于传输带宽的需求。
氮化硅薄膜的沉积速率和表面形貌
采用电子回旋共振-等离子体增强化学气相沉积(ECR—PECVD)技术,以氮气为等离子体气源,5%硅烷(Ar稀释)为前驱气体,在玻璃衬底上低温制备了氮化硅薄膜。利用偏振光椭圆率测量仪、原子力显微镜(AFM)等测试技术分析探讨了硅烷流量(5~50cm^3)、沉积温度(150~350℃)以及微波功率(500~650W)等对SiN薄膜沉积速率及表面形貌的影响。结果表明:沉积速率随着硅烷流量和微波功率的增加而增加(最高达到11.07nm/min),随着衬底温度的增加而降低,在温度为350℃时降低到2.44nm/min。薄膜的粗糙度随着衬底温度和微波功率的增加而降低,粗糙度最低为0.89nm,说明薄膜的表面质量较高。