为了适应超精密加工对加工精度的要求，将激光捕获技术引入到超精密加工领域，提出了“基于激光捕获原理的超精密加工技术”的概念，介绍了其工作原理，建立了其理论模型，并通过组建基于激光捕获原理的超精密加工系统进行纳米加工，证明将激光捕获技术应用在超精密加工中是可行的。基于激光捕获原理的超精密加工技术为超精密加工提供了一种全新的工具，必将发挥越来越大的作用。