本文在双F-P腔光纤干涉仪测距原理和光纤探针粗糙度测量方法的基础上,提出了光纤F-P干涉传感器的高精度表面粗糙度测量原理.着重探讨了其测试方法.

本文提出了单模光纤探针式光学轮廓仪的构成及工作原理，重点分析了光纤探针的基本理论，导出了理想状态下光纤探讨与被测表面的耦合效率，分析了光纤探针扫描时表面轮廓对语效率的调制原理，给出了单模光纤探针探头的基本结构，在实验中用单模光纤探针式光学轮廓仪实验装置进行了测试，给出了实验结果的误差分析，并与多模光纤探针的测试结果进行了比较

测量平台运动精度是三维表面粗糙度测量仪中的关键技术。该文讨论了气浮工作台的设计方法，分析了承载能力和气膜刚度，推算出相应的计算公式，研制出能满足三维表面粗糙度测量仪精度要求的气浮工作台，具有十分重要的现实意义和可观的经济效益。