在分析国外关于元器件成熟度概念内涵的基础上,提出了由制造技术的规范性、功能性能的稳定性和验证的充分性3个方面构成的元器件成熟度评价准则体系。建立了基于信息熵的元器件成熟度评价方法,并以FPGA器件为例,对构建的评价指标体系进行了实证评价,从而验证了方法的有效性。