目前，对双层及多层薄膜的端部应力分析已经有了不少工作。有的是从理论上（三角级数法、应力函数法、积分方程法、渐近分析法等）进行分析，也有的是从数值方法（有限元法、边界元法等）上入手，但是其中大部分工作讨论的都是十分规整的几何构型。本文应用有限元方法分析了一些较为复杂的几何构型。通过比较各种形状的结构中应力沿界面的分布，可以增强我们对一些问题的深入理解，如薄膜端部几何形状和端部组合形状对应力场的影响以

铝薄膜硬度对机械刻制中阶梯母光栅质量影响显著。常采用纳米压入方法进行硬度测试。由于薄膜“三明治”式复合结构，进一步增加薄膜硬度表征的困难。为探究光栅厚铝薄膜的硬度特性，对其做浅压深和大压深纳米压痕实验，基于Nix-Gao模型和压痕功法。进行实验数据拟合与分析。结果显示。衍射光栅铝膜的本征硬度为0．4806GPa，浅压深拟合得到的尺度效应特征长度为0．38μm，大压深拟合得到的尺度效应长度为2．22μm，此研究揭示出基底存在尺度效应。为中阶梯衍射光栅厚铝膜的硬度研究提供参考和指导。