为给圆筒类零件的加工制造提供误差控制理论的支持,对当采用单激光传感器半接触式测量方式,测量圆筒工件内径时,而引入的影响测量误差因素进行了综合分析。针对在保证圆筒工件安装定位理想化条件下,将激光传感器在圆筒的任意位姿分解为偏心、倾斜和安装偏折几种误差影响因素。再运用数学几何方法将几种误差因素进行叠加,建立数学模型,并通过MATLAB仿真求解,给出定量结果,进行误差分析。通过实验测量数据验证测量系统的精度以及本测量方式的可行性。