提出一种结构简单、使用方便的用于微电子机械部件运动状态测量的光纤斐索干涉装置。考虑到光纤出射光束的发散，在有效反射率中引入了损耗因子，讨论了它的基本工作原理。为了提高测量精度和最小可探测距离，光纤控头固定在一个ＰＺＴ上作可控调制。用屯喇叭膜片在多种驱动条件下的运动状态２，进行了数据处理和讨论。